มิเตอร์วัดอัตราการไหล SCCM วัดการไหลของก๊าซในปริมาณเล็กน้อยและที่ความดันต่ำ มีความสำคัญในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การผลิตชิปคอมพิวเตอร์ซึ่งการควบคุมการไหลของก๊าซมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับงานต่างๆ เช่น การใส่สารเคมีบนชิป การออกแบบ หรือการทำความสะอาดด้วยแก๊ส

เครื่องวัดอัตราการไหล SCCM ประเภทหนึ่งเรียกว่าเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนขนาดเล็ก มันทำงานโดยการดูว่าก๊าซทำให้เซ็นเซอร์ร้อนเย็นลงอย่างไร ยิ่งเย็นเท่าไร ก๊าซก็จะไหลเร็วขึ้นเท่านั้น

มิเตอร์วัดอัตราการไหล SCCM จะต้องมีความแม่นยำ ละเอียดอ่อน และจัดการกับการไหลของก๊าซเล็กๆ ได้ดี สิ่งนี้สำคัญอย่างยิ่งในสถานที่ที่การไหลของก๊าซเปลี่ยนแปลงเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้การผลิตสิ่งต่างๆ เช่น ชิปคอมพิวเตอร์หรือยาเสียหายได้

ดังนั้น มิเตอร์วัดอัตราการไหล SCCM จึงเป็นเครื่องมือที่สำคัญมากในการทำให้แน่ใจว่าทุกอย่างดำเนินไปอย่างราบรื่นในอุตสาหกรรมที่ต้องการการควบคุมการไหลของก๊าซอย่างแม่นยำ พวกเขาทำให้แน่ใจว่าสิ่งต่าง ๆ อยู่ในสภาพดี แม้ว่าจะทำงานกับแก๊สจำนวนเล็กน้อยก็ตาม