เครื่องวัดอัตราการไหลมวลต่ำและตัวควบคุมอัตราการไหลรุ่น SRK-DL สามารถวัดอัตราการไหลของก๊าซต่ำพิเศษได้ต่ำสุดเพียง 2 sccm (2 มล./นาที) เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำพิเศษนี้นิยมใช้ในงานหลากหลายประเภท เช่น แก๊สโครมาโทกราฟี การวิเคราะห์ก๊าซ การวิจัยในห้องปฏิบัติการ และกระบวนการทางอุตสาหกรรมที่ต้องการ
การวัดอัตราการไหลของก๊าซอย่างแม่นยำ สามารถใช้เป็นเครื่องวัดอัตราการไหลต่ำของออกซิเจน เครื่องวัดอัตราการไหลของอากาศต่ำ
เครื่องวัดอัตราการไหลสำหรับไนโตรเจน (N2) อัตราการไหลต่ำ เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำมากของก๊าซชีวภาพ เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำพิเศษสำหรับ CO2 และอื่นๆ
หลักการทำงานของเครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซความร้อนแบบไหลต่ำ/ตัวควบคุมการไหล
ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลต่ำประกอบด้วยเซ็นเซอร์วัดอัตราการไหลของมวลต่ำ อุปกรณ์จัดเรียงชั้นการไหลแบบลามินาร์ วาล์วควบคุมการไหล และวงจรควบคุมการขยายสัญญาณ ตัวควบคุมนี้สร้างขึ้นโดยใช้เอฟเฟกต์การกระจายความร้อนของของไหลที่ไหลเพื่อเปลี่ยนการกระจายอุณหภูมิของผนังแคปิลลารีที่วัดได้
ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลแบบไหลต่ำนี้ใช้หลักการของการวัดค่าความร้อนแบบต่างอุณหภูมิก่อนและหลังการถ่ายเทความร้อนแบบแคปิลลารี เพื่อวัดอัตราการไหลของมวลก๊าซที่ต่ำถึง 2 sccm โดยไม่ขึ้นกับอุณหภูมิและความดัน ขยายสัญญาณการไหลที่วัดได้จากเซ็นเซอร์ แล้วเปรียบเทียบกับแรงดันไฟฟ้าที่ตั้งไว้ ใช้ค่าความต่างนี้เพื่อขับเคลื่อนวาล์วควบคุม และควบคุมการไหลแบบวงปิดผ่านช่องทางให้เท่ากับอัตราการไหลของที่ตั้งไว้
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องวัดอัตราการไหล/ตัวควบคุมอัตราการไหลแบบไหลต่ำ
- ช่วงอัตราการไหลของก๊าซ: 2 SCCM~ 30 SL/M เช่น 100 มล./นาที 200 sccm,1 LPM, 2 SLM,5 ลิตร/นาที 20 SLPM
- อัตราส่วนการลด: 50:1 สำหรับตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลแบบดิจิทัล; 100:1 สำหรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลแบบดิจิทัล
- ความแม่นยำ : ± 1% FS
- ความเป็นเส้นตรง : ± 0.5% FS
- ความสามารถในการทำซ้ำ: ± 0.2% FS
- เวลาตอบสนอง: ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวล < 2 วินาที; เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล < 0.8 วินาที
- การสื่อสาร: RS232/485.MODBUS
- เอาต์พุต: 0~5V,4-20mA,1-5V
- แหล่งจ่ายไฟ : ±15VDC,24VDC
- อุณหภูมิการทำงาน: 0~50°C
- แรงดันการทำงานสูงสุด: 3MPa/10MPa
- วัสดุเซ็นเซอร์วัดอัตราการไหลของมวลหรือตัวควบคุมการไหล : สแตนเลส
- การเชื่อมต่อกระบวนการวัดอัตราการไหลต่ำ: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
