เครื่องวัดอัตราการไหลมวลไหลต่ำและตัวควบคุมการไหล SRK-DL ซีรีส์สามารถวัดก๊าซอัตราต่ำพิเศษได้ต่ำเพียง 2 sccm (2 มล./นาที) เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำพิเศษมักใช้ในการใช้งานต่างๆ เช่น แก๊สโครมาโทกราฟี การวิเคราะห์ก๊าซ การวิจัยในห้องปฏิบัติการ และกระบวนการทางอุตสาหกรรมที่ต้องการการวัดการไหลของก๊าซที่แม่นยำ สามารถใช้เป็นเครื่องวัดอัตราการไหลของออกซิเจนต่ำ เครื่องวัดอัตราการไหลของอากาศที่มีอัตราการไหลต่ำ การไหล เมตรสำหรับการใช้งานไนโตรเจน (N2) อัตราการไหลต่ำ ก๊าซชีวภาพเครื่องวัดอัตราการไหลต่ำมาก เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำพิเศษสำหรับ CO2 ฯลฯ
เครื่องวัดการไหลของก๊าซความร้อนไหลต่ำ / ตัวควบคุมการไหล หลักการทำงาน
ตัวควบคุมการไหลของมวลที่มีอัตราการไหลต่ำประกอบด้วยเซนเซอร์วัดการไหลของมวลที่ไหลต่ำ อุปกรณ์ชั้นการไหลแบบราบเรียบ วาล์วควบคุมตัวควบคุมการไหล และวงจรควบคุมการขยายสัญญาณ ทำโดยใช้ผลการกระจายการถ่ายเทความร้อนของของไหลที่ไหลเพื่อเปลี่ยนการกระจายอุณหภูมิของผนังเส้นเลือดฝอยที่วัดได้
ตัวควบคุมการไหลของมวลที่มีการไหลต่ำนี้ใช้หลักการของการวัดความร้อนของอุณหภูมิที่แตกต่างกันก่อนและหลังการถ่ายเทความร้อนของเส้นเลือดฝอยเพื่อวัดการไหลของมวลของก๊าซที่ต่ำเพียง 2 sccm โดยไม่ขึ้นกับอุณหภูมิและความดัน ขยายสัญญาณการไหลที่วัดโดยเซ็นเซอร์ แล้วเปรียบเทียบกับแรงดันไฟฟ้าที่ตั้งไว้ ใช้ความแตกต่างในการขับเคลื่อนวาล์วควบคุม และวงปิดจะควบคุมการไหลผ่านช่องเพื่อให้เท่ากับการไหลที่ตั้งไว้
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องวัดอัตราการไหล/ตัวควบคุมการไหลต่ำ
- ช่วงการไหลของแก๊ส: 2 SCCM ~ 30 SL/M เช่น 100 ml/min, 200 sccm, 1 LPM, 2 SLM, 5 ลิตร/นาที, 20 SLPM
- อัตราส่วนการเปิดปิด: 50:1 สำหรับตัวควบคุมการไหลของมวลแบบดิจิทัล 100:1 สำหรับเครื่องวัดอัตราการไหลมวลแบบดิจิทัล
- ความแม่นยำ : ± 1% เอฟเอส
- ความเป็นเชิงเส้น : ± 0.5% เอฟเอส
- การทำซ้ำ: ± 0.2% FS
- เวลาตอบสนอง: ตัวควบคุมการไหลของมวล <2 วินาที; เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล <0.8 วินาที
- การสื่อสาร: RS232/485.MODBUS
- เอาท์พุท: 0 ~ 5V,4-20mA,1-5V
- พาวเวอร์ซัพพลาย : ±15VDC,24VDC
- อุณหภูมิในการทำงาน: 0 ~ 50°C
- แรงดันใช้งานสูงสุด: 3MPa/10MPa
- เซ็นเซอร์วัดการไหลของมวลหรือวัสดุควบคุมการไหล : สแตนเลส
- การเชื่อมต่อกระบวนการวัดอัตราการไหลต่ำ: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
