เครื่องวัดอัตราการไหลมวลไหลต่ำและตัวควบคุมอัตราการไหลรุ่น SRK-DL สามารถวัดอัตราการไหลของก๊าซต่ำพิเศษได้ต่ำถึง 2 sccm (2 มล./นาที) เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำพิเศษมักใช้ในแอปพลิเคชันต่างๆ เช่น โครมาโทกราฟีก๊าซ การวิเคราะห์ก๊าซ การวิจัยในห้องปฏิบัติการ และกระบวนการอุตสาหกรรมที่ต้องมีการวัดอัตราการไหลของก๊าซอย่างแม่นยำ สามารถใช้เป็นเครื่องวัดอัตราการไหลต่ำของออกซิเจน เครื่องวัดอัตราการไหลของอากาศต่ำ เครื่องวัดอัตราการไหลสำหรับไนโตรเจน (N2) การไหลต่ำ เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำมากสำหรับก๊าซชีวภาพ เครื่องวัดอัตราการไหลต่ำพิเศษสำหรับ CO2 เป็นต้น
หลักการทำงานของเครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซความร้อนแบบไหลต่ำ/ตัวควบคุมอัตราการไหล
ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลต่ำประกอบด้วยเซ็นเซอร์อัตราการไหลของมวลต่ำ อุปกรณ์แบ่งชั้นการไหลแบบลามินาร์ วาล์วควบคุมตัวควบคุมการไหล และวงจรควบคุมการขยาย ซึ่งสร้างขึ้นโดยใช้เอฟเฟกต์การกระจายการถ่ายเทความร้อนของของไหลที่ไหลเพื่อเปลี่ยนการกระจายอุณหภูมิของผนังแคปิลลารีที่วัดได้
ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลแบบไหลต่ำนี้ใช้หลักการของการวัดค่าแคลอรีเมทรีของอุณหภูมิที่แตกต่างกันก่อนและหลังการถ่ายเทความร้อนแบบเส้นเลือดฝอยเพื่อวัดอัตราการไหลของมวลของก๊าซที่ต่ำถึง 2 sccm โดยไม่ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิและความดัน ขยายสัญญาณการไหลที่วัดโดยเซ็นเซอร์ จากนั้นเปรียบเทียบกับแรงดันไฟฟ้าที่ตั้งไว้ ใช้ความต่างเพื่อขับเคลื่อนวาล์วควบคุม และควบคุมการไหลผ่านช่องแบบวงปิดเพื่อให้เท่ากับอัตราการไหลที่ตั้งไว้
ข้อมูลจำเพาะเครื่องวัดอัตราการไหล/ตัวควบคุมอัตราการไหลแบบไหลต่ำ
- ช่วงอัตราการไหลของก๊าซ: 2 SCCM~ 30 SL/M เช่น 100 มล./นาที 200 sccm,1 LPM, 2 SLM,5 ลิตร/นาที 20 SLPM
- อัตราส่วนการลด: 50:1 สำหรับตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลแบบดิจิทัล; 100:1 สำหรับมาตรวัดอัตราการไหลของมวลแบบดิจิทัล
- ความแม่นยำ : ± 1% ฟอซ.
- ความเป็นเส้นตรง : ± 0.5% ฟอซ
- ความสามารถในการทำซ้ำ: ± 0.2% FS
- เวลาตอบสนอง: ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวล < 2 วินาที; เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล < 0.8 วินาที
- การสื่อสาร: RS232/485.MODBUS
- เอาต์พุต: 0~5V,4-20mA,1-5V
- แหล่งจ่ายไฟ : ±15VDC,24VDC
- อุณหภูมิการทำงาน: 0~50°C
- แรงดันการทำงานสูงสุด: 3MPa/10MPa
- วัสดุเซ็นเซอร์วัดอัตราการไหลของมวลหรือตัวควบคุมการไหล :สแตนเลส
- การเชื่อมต่อกระบวนการวัดอัตราการไหลต่ำ: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
