เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล/ตัวควบคุมการไหลที่มีความแม่นยำสูง

ประสิทธิภาพและหลักการทำงานของเครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซไมโคร SRK-20FD

SRK-20FD เป็นเครื่องวัดอัตราการไหล/ตัวควบคุมความแม่นยำสูงที่มีความแม่นยำในการวัดที่ยอดเยี่ยม ±0.5% ของสเกลเต็ม ความแม่นยำที่เหนือกว่านี้เกิดขึ้นได้ด้วย เทคโนโลยีการตรวจจับมวลไหลความร้อน ขั้นสูง ซึ่งประกอบด้วยหัววัดแบบสององค์ประกอบพิเศษ
หัววัดแบบปิดผนึกประกอบด้วยชิ้นส่วนตรวจจับที่ออกแบบอย่างแม่นยำสองชิ้น ได้แก่ เซ็นเซอร์วัดความเร็วและเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิ ซึ่งทำงานร่วมกันเพื่อชดเชยความแปรผันของอุณหภูมิและความดันโดยอัตโนมัติ วงจรของเครื่องมือวัดการไหลขนาดเล็กจะรักษาเซ็นเซอร์วัดความเร็วให้มีค่าความแตกต่างของอุณหภูมิคงที่เหนืออุณหภูมิของก๊าซในกระบวนการ และวัดการกระจายความร้อนที่เกิดจากการไหลของก๊าซหรืออากาศอย่างต่อเนื่อง อัตราการไหลของมวลถูกกำหนดโดยหลักการที่ว่ากำลังไฟฟ้าที่จำเป็นในการรักษาความแตกต่างของอุณหภูมิให้คงที่นั้นเป็นสัดส่วนโดยตรงกับอัตราการไหลของมวลของก๊าซ
องค์ประกอบการตรวจจับทั้งสองเป็นเครื่องตรวจจับอุณหภูมิที่มีความต้านทานแพลตตินัมความแม่นยำสูง (RTD) บรรจุอยู่ในตัวเรือนสแตนเลส 316 เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรในระยะยาว ทนทานต่อการกัดกร่อน และความน่าเชื่อถือในการใช้งานทางอุตสาหกรรม

การประยุกต์ใช้ในห้องปฏิบัติการและสภาพแวดล้อมทางอุตสาหกรรม

เครื่องวัดอัตราการไหล/ตัวควบคุมความแม่นยำสูงซีรีส์ SRK-20FD ให้ความแม่นยำเต็มสเกล ±0.5% มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้สำหรับการทดลองในห้องปฏิบัติการที่หลากหลาย ( เครื่องวัดอัตราการไหลในห้องปฏิบัติการ ) และการใช้งานในอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำสูง ความแม่นยำและความเสถียรของเครื่องวัดนี้เหมาะสำหรับใช้ในงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การควบคุมกระบวนการ และการวัดของไหลในหลากหลายภาคส่วน
เพื่อทนต่อสภาพแวดล้อมทางอุตสาหกรรมที่รุนแรง รุ่นที่เลือกในซีรีย์นี้จึงมีการออกแบบป้องกันฝุ่นและกันน้ำระดับ IP67 ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงการปกป้องจากสารปนเปื้อนและความชื้น
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนขนาดเล็กซีรีส์ SRK-20FD / ตัวควบคุมการไหลรองรับอินเทอร์เฟซอินพุต/เอาต์พุตแอนะล็อกมาตรฐานพร้อมรองรับการสื่อสาร RS485/RS232 โดยใช้โปรโตคอล Modbus RTU เพื่อการบูรณาการที่ราบรื่นกับระบบอัตโนมัติและระบบควบคุมในอุตสาหกรรม

คุณสมบัติหลักของเครื่องวัด/ตัวควบคุมอัตราการไหลมวลความร้อนขนาดเล็ก SRK-20FD

• ความแม่นยำสูง: ความแม่นยำในการวัดสูงถึง ±0.5% ของสเกลเต็ม (FS)
• ความสามารถในการทำซ้ำที่ยอดเยี่ยม: ±0.2% ของ FS ช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ
• การตอบสนองและการควบคุมอย่างรวดเร็ว: เวลาตอบสนองรวดเร็วด้วยการปรับการไหลที่แม่นยำ
• หน้าจอสัมผัสที่ใช้งานง่าย: การใช้งานที่เป็นมิตรต่อผู้ใช้และการตรวจสอบแบบเรียลไทม์
• การวัดอัตราการไหลของมวลโดยตรง: ไม่จำเป็นต้องมีการชดเชยแรงดันหรืออุณหภูมิเพิ่มเติม
• การชดเชยอุณหภูมิอัตโนมัติ: ช่วยให้การอ่านค่ามีเสถียรภาพและแม่นยำภายใต้สภาวะต่างๆ
• การควบคุม PID แบบบูรณาการ: ช่วยให้สามารถควบคุมอัตราการไหลแบบเรียลไทม์และกระบวนการอัตโนมัติได้
• การเลือกก๊าซที่กำหนดค่าได้: รองรับการสลับก๊าซที่วัดด้วยตนเอง ใช้ได้กับการวัดอัตราการไหลของก๊าซประเภทต่างๆ เช่น ก๊าซไฮโดรคาร์บอน เครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซ HCL ก๊าซคลอรีน (Cl2) ก๊าซ AR เครื่องวัดอัตราการไหลของ H2 เครื่องวัดอัตราการไหลของ HBr, He, N2 ก๊าซ NH3, O2, SiH4 และการวัดอัตราการไหลของก๊าซ SF6 และอื่นๆ
• การตรวจจับการไหลของมวลความร้อนขั้นสูง: มอบความแม่นยำสูง (0.5%) พร้อมการตอบสนองที่รวดเร็วเป็นพิเศษ (ภายในเวลาตอบสนอง 0.2 วินาที)
• การออกแบบเส้นทางการไหลที่เหมาะสมที่สุด: โครงสร้างท่อเบี่ยงการไหลช่วยลดความเสี่ยงในการอุดตัน
• ความเข้ากันได้กับท่อแบบอเนกประสงค์: เหมาะสำหรับทั้ง เครื่องวัดอัตราการไหลแรงดันสูง และ เครื่องวัดอัตราการไหลแรงดันต่ำ
• เวลาอุ่นเครื่องน้อยที่สุดและความเสถียรสูง: ระยะเวลาอุ่นเครื่องสั้น ค่าดริฟท์ศูนย์ต่ำ และความน่าเชื่อถือที่เพิ่มขึ้น

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลไมโครสำหรับก๊าซ

High precision quality flow controller		High precision mass flow meter
Technical indicators
Range range	2S CCM~6000 SLM	2SCCM~6000 SLM
Measurement and control range	Controller valve control range 50:1	Flow metering ratio 100:1
Accuracy	±0.5%F.S(Full range)
linear	±0.25%F.S
Repetitive accuracy	±0.2%F.S
response time	<0.2s	<0.1s
temperature coefficient	±0.025%F.S/℃
working temperature	0~50℃
Preheating time	30S available,5Min reaches optimal state
working pressure	Working pressure difference:0.1~0.5Mpa     Working pressure drop:<0.01Mpa
Maximum withstand voltage	3MPa/10MPa
Leakage rate	1X10-9Pam3/S
Mechanical Components
Base material	Stainless steel
Joint	φ8,φ10,φ12.Flange installation
Sealing material	Fluorine rubber,chloroprene rubber,nitrile rubber,metal seal
Shell protection level	IP40
Installation location	Horizontal installation
Electrical Performance
Electrical connections	DB9 hole,RJ11,5.5x2.1 power fast plug
Display status	With LCD display,without LCD display
Digital quantity	RS232/485,MODBUS protocol,PROFIBUS protocol
Analog quantity	0~5V,4-20mA,1~5V
power supply	24VDC,±15VDC