Thermal mass flow meter เป็นเครื่องวัดอัตราการไหลของอากาศหรืออัดอากาศพร้อมหน่วย CFM
เครื่องวัดอัตราการไหลส่วนใหญ่เพื่อรับอัตราการไหลของอากาศอัดจะต้องวัดมวลของการไหลและต้องการอุปกรณ์พิเศษในการวัดความดันและอุณหภูมิเพื่อให้สามารถคำนวณการไหลของมวลและความหนาแน่นได้
อย่างไรก็ตามเครื่องวัดอัตราการไหลของอากาศความร้อนจะวัดการไหลของมวลอากาศโดยตรง ดังนั้นจึงไม่ได้รับผลกระทบจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิและความดัน ดังนั้นเครื่องวัดอัตราการไหลมวลให้การอ่านที่แม่นยำเชื่อถือได้และทำซ้ำได้มากกว่าเครื่องวัดอื่น นอกจากนี้ยังมีความสามารถในการวัดระยะได้มากกว่ามิเตอร์วัดการไหลอื่น ๆ